XYθ对位平台包括三个层叠安装的工作轴， 即X轴、Y轴和Θ轴，在控制设备的控制下，三个工作轴能够分别独立的向X方向平动、向Y方向平动，并绕Θ方向旋转。根据各个工作轴的独立运动量，以及图像采集装置获取到的图像，所述控制设备能够确定平台平面和图像平面之间的映射关系，从而实现对XYΘ对位平台的校准。